循環空調箱(AHU)系統
-2(1).JPG)
特點：
1.以風管輸送清靜空氣
2.適用CLASS 100K~1K
3.無塵室升級困難
4.建造成本低、運轉成本高
5.運轉噪音易隔離
6.AHU故障嚴重影響無塵室運轉
外氣空調箱(MAU)+FFU+Dry Coil系統
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特點：
1.雙層天板內空間為微負壓 chamber
2.適用CLASS 1K~1
3.無塵室升級容易
4.建造成本較高、運轉成本低
5.運轉噪音稍高 (55db以下)
6.單一或少量FFU故障，不影響無塵室運轉
外氣空調箱(MAU)+FFU+Dry Coil系統
-2(1).JPG)
特點：
1.雙層天板內空間為微負壓 chamber
2.適用CLASS 1K~1
3.無塵室升級容易
4.建造成本較高、運轉成本低
5.運轉噪音稍高 (55db以下)
6.單一或少量FFU故障，不影響無塵室運轉
