無塵室管理原則

  ▪ 清淨度管理

  ▪ 溫濕度管理

  ▪ 氣壓控制管理

  ▪ 氣流速度管理

  ▪ 人員教育管理

  ▪ 無塵衣著管理

  ▪ 能源管理

 不帶入

 1.室內保持正壓。
 2.建物要緊密，HPEA及框架沒有洩漏。
 3.作業人員須依規定更衣經浴塵室再進入潔淨室。
 4.機器．材料．工具．須經清潔方可進入潔淨室。

 不堆積

 1.不造成不易清掃的死角，機器週邊要易於清除。
 2.風管及配置要避免露於室內。
 3.有計畫有基準的實施清掃的工作。

 不產生

 1.潔淨室內裝材料的適當選用。
 2.製程設備的發塵抑制。
 3.生產自動化及人員不聚集．動作放輕。
 4.無塵衣及潔淨室專用器具的使用及管理。
 5.非必要之物品禁止攜入。

 排除

 1.換氣次數須足夠符合規定。
 2.污染源須有排氣設備直接吸除。
 3.施工後須馬上清潔。
 4.氣流的形成要設計得當，防止塵埃附著在產品上。