| NO | 量測項目分類 | 設備名稱 | 廠牌 | 型號 | 台數 | 量測項目 | 加工/量測能力 | 加工/量測精度 |
| 2D尺寸'量測 | 三次元量測設備 | MAHR （德國） | OMS 600 | 1 | 2D尺寸、真圓度、直線度、平面度、圓筒度、平行度、垂直度、角度、位置度、同心度、對稱度、同軸度 | 470ｘ600ｘ320mm | 0.12um(重復精度0.4u) | |
| 工具顯微鏡 Microscope |
NIKON（日本） | MM-40 | 1 | 2D尺寸 | X：100mm Y：100mm Z：10mm | XY：2um Z：4um | ||
| MM-40 | 1 | 2D尺寸 | X：100mm Y：100mm Z：10mm | XY：2um Z：4um | ||||
| MM-800 | 1 | 2D尺寸 | X：300mm Y：150mm Z：200mm | 1.5um(重複顯示精度0.1um) | ||||
| 2.5D影像量測儀 2.5D image measuring instrument(OVM) |
智泰 | VME250 | 1 | 2D尺寸 | 250X150X200mm X：250mm Y：150mm Z：10mm |
(3+L/200)um 光學尺解析度1um 重複性2μm |
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| 2.5D手動影像量測儀 Manual image measuring instrument |
CARMAR | VMM-3020D | 1 | 2D尺寸 | X300 Y200 Z200 |
(≦3 + L/ 200)um | ||
| Projector投影機 | NIKON（日本） | V-12B | 1 | 2D尺寸 | X：100mm Y：100mm | 0.01mm | ||
| 3D 表面輪廓量測儀 | ZYGO | Nexview | 1 | 2D、深度、高低差 、平面度 |
1nm 到 20000μm Z軸解析度為0.005nm. 最小可以量測Sq (RMS)均值 為0.08nm,(30 times average). 精度accuracy定義量測1.8um標準片為0.75%. |
表面形貌 重复性精度0.08 nm RMS的可重复性精度0.005 nm 光学横向 解析度（100X目标）0.34um |
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| 平行(平面) | 三次元量測設備 | BROWN& SHARPE(美國) | gage 2000 | 1 | 平行、平面 | 400x600x300mm | 2.2um | |
| 三次元量測設備 | MAHR （德國） | OMS 600 | 1 | 2D尺寸、真圓度、直線度、平面度、圓筒度、平行度、垂直度、角度、位置度、同心度、對稱度、同軸度 | 470ｘ600ｘ320mm | 0.12um(重復精度0.4u) | ||
| 3D 表面輪廓量測儀 | ZYGO | Nexview | 1 | 2D、深度、高低差 、平面度 |
1nm 到 20000μm Z軸解析度為0.005nm. 最小可以量測Sq (RMS)均值 為0.08nm,(30 times average). 精度accuracy定義量測1.8um標準片為0.75%. |
表面形貌 重复性精度0.08 nm RMS的可重复性精度0.005 nm 光学横向 解析度（100X目标）0.34um |
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| 高度 | Micro-Hite測高機 | TESA （瑞士） | A600 | 1 | 高度、孔徑 | Z：600mm | 2um | |
| A600 | 1 | 高度、孔徑 | Z：600mm | 2um | ||||
| 高精度萬分高度規 | sylvac(瑞士) | 1 | 高度 | 量測範圍50mm 重現性0.2um |
解析能力0.0001 | |||
| 真圓度 同軸度 直角度 |
真圓度機 Roundness and Cylindrical Measurement |
TAYLOR HOBSON(英國) | TR 565 | 1 | 真圓度、同軸鍍、直角度 | 儀表分辨率0.3納米 量測高度300mm |
高精度 空氣軸承主軸+/- 0.015 um |
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| 真圓度機 Roundness and Cylindrical Measurement |
RONDCOM, TOKYO ㈱ 東京精密 | 44SD | 3 | 真圓度、同軸鍍、直角度 | X：150mm Y：150mm Z：180mm | (0.02um+4H/10000)μm | ||
| X：150mm Y：150mm Z：180mm | ||||||||
| X：150mm Y：150mm Z：180mm | ||||||||
| 三次元量測設備 | MAHR （德國） | OMS 600 | 1 | 2D尺寸、真圓度、直線度、平面度、圓筒度、平行度、垂直度、角度、位置度、同心度、對稱度、同軸度 | 470ｘ600ｘ320mm | 0.12um(重復精度0.4u) | ||
| 面型PV | UA3P | PANASONIC（日本） | 4H | 1 | 面型PV、偏芯、Ra值 | 100mm*100mm*35mm 量測能力0.3nm 表面最大量測傾斜角度60° |
溫度30度以下 ±0.05um PV：非對稱曲面無法分析， 可量測100mm以內 ECC(偏芯)：Ф3mm~Ф24mm |
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| 表面輪廓儀 Surface Profiler |
TAYLOR HOBSON(英國) | PGI-840 | 1 | 面型PV | 120mm*120mm | 0.25um | ||
| PGI-840 | 1 | 面型PV | ||||||
| 偏芯 | UA3P | PANASONIC（日本） | 4H | 1 | 面型PV、偏芯、Ra值 | 100mm*100mm*35mm 量測能力0.3nm 表面最大量測傾斜角度60° |
溫度30度以下 ±0.05um PV：非對稱曲面無法分析， 可量測100mm以內 ECC(偏芯)：Ф3mm~Ф24mm |
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| 偏心測試儀 Decentering tester |
Trioptics | 雙軸 | 1 | 鏡片偏芯 | 0.5mm~225mm | 0.2um (重復精度0.5um) |
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| Ra值 | 表面粗度儀 Roughness Tester |
MITUTOYO | SJ-201P | 1 | Ra值 | 手持式 | 0.01um | |
| UA3P | PANASONIC（日本） | 4H | 1 | 面型PV、偏芯、Ra值 | 100mm*100mm*35mm 量測能力0.3nm 表面最大量測傾斜角度60° |
溫度30度以下 ±0.05um PV：非對稱曲面無法分析， 可量測100mm以內 ECC(偏芯)：Ф3mm~Ф24mm |
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| 硬度 | 洛氏硬度計 Rockwell Hardness Tester |
FUTURE-TECH（日本） | FR-e | 1 | 硬度 | 0 ~ 130硬度，最小0.1硬度設定 試料最高可量190 mm |
0.1度 |
量測檢驗
